特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來國防工業(yè)、科學研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,也是我司核心發(fā)展方向之一。
近年來,隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計,現(xiàn)有單元特種氣體達 260 余種,特種氣體已成為高科技應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的基本原材料。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域上分為:電子氣體、高純氣體、 標準氣體。
名稱 |
主要品種 |
發(fā)展情況 |
電子氣體 |
1、氫化物:超純氨、硅烷、磷烷、砷烷、氫化銻 2、氟化物:六氟化硫、三氟化氮、三氟化硼、五氟化磷、四氟化硅 3、碳氟化合物:四氟化碳、六氟乙烷等 |
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的基礎(chǔ)性材料,廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。
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高純氣體 |
N2、 O2、 H2、 He、 Ar、CO2 等,純度 5N(99.999%) |
高純氣體大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域。
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標準氣體 |
1、單元標準氣體 2、多元標準氣體:由兩種或兩種以上組分氣配制而成 |
1、標準氣體是計量的基準物質(zhì),準確、均勻、穩(wěn)定可靠是重要特征,具有建立測量的溯源性,保證測量結(jié)果準確一致,以及促進測量技術(shù)和質(zhì)量監(jiān)督工作發(fā)展的作用。 2、標準氣基本滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求。 |